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金刚石刀具的磨损机理比较复杂,可分为宏观磨损和微观磨损,前者以机械磨损为主,后者以热化学磨损为主。常见的金刚石刀具磨破损形态为前刀面磨损、后刀面磨损和刃口崩裂。在单晶金刚石刀具刃磨过程中,需要其磨损以刃磨出满足要求的刀具,但若产生了不需要的磨损就可能损伤已经刃磨好的前、后刀面。而刃口崩裂(即崩刃)是在刃口上的应力超过金刚石刀具的局部承受能力时发生的,一般是由金刚石晶体沿晶面的微观解理破损造成的。在超精密加工中,金刚石刀具的切削刃钝圆半径比较小,其本身又属于硬脆材料,同时由于其各向异性且面易发生解理,随着振动和砂轮砂粒对刀具刃口的冲击作用,故常常会伴随产生崩刃现象。

由于刀具的要求,或金刚石形状所决定,有时候需要将金刚石原石分割。金刚石具有平行完全解理,金刚石中的碳原子与碳原子之间是以较大力量的共价键结合在一起的。但是在金刚石结构中的某些特定方向,如平行八面体面方向施加一定的力后,金刚石非常容易破裂,主要是因为金刚石晶体中连接此面的键相对较少。

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